核能科学与发电技术学报

等离子体和离子源应用

阿卜杜拉赫曼

等离子体和离子源应用

人们一直在寻找一种能够以更少的治疗和更少的停机时间提供更大效果的技术。在物理学领域中，“等离子体”一词表示由含有大致相等数量的自由正电荷和负电荷的气体在“准中性”条件下形成的导电介质。当气体中的部分原子或分子被电离时就会产生等离子体，有时被称为物质的第四种状态，不同于固态、液态和气态。气体放电等离子体用于各种应用，例如光源、等离子显示屏、激光器、表面蚀刻和半导体工业中的薄层沉积。此外，它还用于表面改性、保护涂层沉积、分析化学（主要用于分析固体材料）、生物技术和环境应用。