核能科学与发电技术学报

不同材料离子束加工研究

AG Helal、H El-Khabeary、SI Radwan

不同材料离子束加工研究

研究了使用不同稀有气体对不同靶材料进行离子束加工的模拟。模拟使用不同能量（大于 3keV 至 10keV）的单电荷氖、氩和氪离子进行。模拟中使用开源计算机代码 SRIM 3D 来确定离子束对靶材料的穿透性以及射程与束能量的依赖关系。研究了靶材料原子序数对离子穿透范围的影响。确定了靶材料中离子的射程分布和轨迹。确定了所研究的靶材料因离子轰击而产生的溅射产额，结果表明，当使用氪作为产生离子的工作气体时，溅射产额最高，而氪离子束的射程最小。