纳米光刻

纳米光刻是纳米技术的一个分支，涉及制造纳米级结构以及微观水平上的蚀刻、书写或印刷艺术的研究和应用。字符的尺寸为纳米量级。纳米光刻中使用的仪器包括扫描探针显微镜（SPM）和原子力显微镜（ATM）。 SPM 允许对表面进行精细观察，而无需对其进行修改。 SPM 或 ATM 均可用于在单原子尺寸的表面上蚀刻、书写或打印。纳米光刻用于前沿半导体集成电路（纳米电路）的纳米制造、纳米机电系统（NEMS）或纳米研究中各个科学学科的几乎任何其他基础应用。该技术适用于各种半导体集成电路（IC）、NEMS 的纳米制造以及各种研究应用。